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在扫描电镜（SEM）中，加速电压是决定图像分辨率、对比度、穿透深度和样品损伤的重要参数。选择合适的加速电压，需要综合考虑样品材质、导电性、表面形貌及观察目的。

一、加速电压的基本概念

加速电压是指电子束从电子枪发射后被加速所获得的电压值，一般在 0.5 kV～30 kV 之间。电压越高，电子能量越大，穿透深度和信号强度增加；电压越低，表面信息更明显，但分辨率和信号可能下降。

二、加速电压选择的主要原则

根据样品导电性选择

导电样品（如金属、导电氧化物）：可使用较高加速电压（10–30 kV），以获得高分辨率与清晰的形貌细节。

非导电样品（如生物样品、陶瓷、聚合物）：应使用低电压（1–5 kV），减少电子积聚和电荷效应。

根据样品表面特征选择

观察表面细节：使用低电压（1–5 kV），表面信号占主导，边缘与形貌更明显。

观察内部结构或元素分布：需要较高电压（10–20 kV），增加电子束穿透能力与X射线信号强度。

根据图像类型调整

二次电子成像（SEI）：低加速电压更适合，突出表面起伏与微结构。

背散射电子成像（BSE）：高加速电压可增强材料成分对比。

能谱分析（EDS）：通常选择 ≥15 kV，以激发足够的特征X射线。

根据样品厚度与涂层厚度调整

若样品表面镀金或镀碳层较厚，可适当提高电压（5–10 kV），避免信号被涂层吸收。

若样品很薄或敏感，则应降低电压（1–2 kV），防止穿透或损伤。

三、实际操作技巧

从低电压开始测试

初次观察时，应从 1–2 kV 开始，逐步提高，观察图像亮度、对比度和噪声变化，寻找适合。

结合工作距离与束流调整

在较低电压下，可适当减小工作距离，提高分辨率；若信号过弱，可稍微增加束流。

避免高电压导致样品损伤

对有机、低熔点或易挥发材料，高电压可能引发局部烧蚀，应避免持续照射。

针对EDS分析优化

若目标是微区元素分析，应保证加速电压至少为待测元素激发能量的1.5倍以上，以确保特征X射线有效激发。