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在扫描电镜（SEM）观察过程中，如果样品在成像时发生微小移动或振动，就会出现图像重影、拖影或模糊的现象。这种问题常常与样品固定、机械稳定性、真空环境或充电效应等因素有关。下面详细说明其成因与解决方法。

一、图像重影的主要原因

样品固定不牢

样品未紧密贴合样品台，或导电胶未完全固化，会导致样品在扫描过程中轻微移动，尤其在高放大倍数下更明显。

机械振动或外界干扰

若显微镜支架、真空泵或周围设备（如空调、机械泵）产生振动，会引起电子束与样品相对位置变化，造成图像重影。

充电效应导致样品漂移

非导电样品在电子束照射下积累电荷，产生局部电场，使电子束偏转，表现为图像漂移或拖影。

热膨胀或温度变化

长时间照射可能使样品或样品台轻微升温，材料热膨胀后引起位移，从而产生轻微重影。

电子束扫描速度过慢

在慢扫描模式下，如果样品略有移动或振动，图像容易在同一帧内产生重复轮廓。

电磁干扰或电源不稳定

外部电磁场或设备接地不良也可能造成电子束偏移，导致图像抖动或重影。

二、解决与预防方法

确保样品固定牢靠

使用高质量导电胶、导电铜带或真空兼容胶将样品牢固固定，必要时在样品台上轻压使其贴合。

改善导电路径

对非导电样品进行喷镀金或镀碳处理，或在样品边缘加导电胶带连接样品台，减少电荷积聚。

避免环境振动

将电镜放置在防震台上。

避免在观察时附近设备运转。

关闭空调或压缩机等震源。

优化扫描参数

提高扫描速度或使用“快速预览 + 慢速平均”成像方式。

调整行扫描时间与积分次数，避免长时间扫描引起漂移。

控制温度与真空稳定性

确保真空系统稳定、腔体温度变化小，避免样品热漂移。

检查电磁干扰

确认显微镜接地良好，避免共用电源线或靠近高功率电机设备。