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扫描电镜电子枪不稳定导致闪烁的处理

日期:2025-12-01

扫描电镜图像出现亮度忽明忽暗,多数与电子枪发射电流不稳定有关。无论是钨灯丝、LaB₆,还是场发射源,都可以按以下顺序排查。

一、先确认是否为电子枪问题

如果图像的亮度整体闪烁,而扫描线和放大倍率均正常,基本可判断为电子枪不稳,而不是样品充电或扫描系统问题。

二、检查电子枪类型对应的典型故障

钨灯丝

灯丝老化或接近寿命时容易闪烁。若亮度难以稳定、Emission Current 波动大,建议直接更换灯丝。若灯丝电流设定过高,也会导致不稳,可适当降低至推荐区间并等待数分钟使电子枪重新稳定。此外,若真空略有恶化,也会使灯丝发射不稳,需要检查泵维护和真空度。

LaB₆

LaB₆ 对污染较敏感。若出现闪烁,可先提升加热温度进行自清洁。若清洁后仍不稳,则可能是晶体表面污染严重,需要更换 LaB₆ 源。同时检查枪室真空是否达标。

场发射源(FEG)

FEG 对真空要求高。若 gun chamber 真空波动,亮度会立即闪烁,应先查看离子泵是否正常、N₂ trap 是否工作、系统是否刚开舱。必要时运行电子枪“再生/稳定”程序。如果 emission current 持续漂移,则可能需要工程师处理或更换 emitter。

三、检查电源与接地状况

电源波动会直接造成 HV 不稳,从而引起亮度闪烁。可更换到稳压电源或独立供电线路测试。同时检查接地是否良好,接地不良会放大高压噪声。

四、系统性问题

若所有上述情况均排除,则可能是 HV 模块老化、枪室温度波动、电子枪电源噪声等,需要工程师进一步检查。


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作者:泽攸科技