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扫描电镜扫描条纹出现的排查方法

日期:2025-12-03

扫描电镜扫描条纹的快速排查方法

1. 判断是否充电

降低电压到 1–5 kV,看条纹是否明显减弱。

降束流。

样品补镀金/镀碳,检查导电胶接触。

2. 判断是否扫描系统或电子学噪声

切换 Fast / Slow Scan,若条纹随扫描速度变化,多为扫描系统或电子学问题。

更换电源插座、确保良好接地。

3. 判断是否环境干扰

关闭附近空调、压缩机、电机、电梯等。

若条纹有周期性,多为电磁干扰。

4. 判断真空是否不稳

观察真空值是否波动。

检查腔体密封、O-ring、泵状态。

5. 判断束流是否不稳

画面亮度跳动或随机条纹,多与灯丝老化或枪源不稳有关。

预热或检查灯丝。


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作者:泽攸科技