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扫描电镜（SEM）样品表面的污染，会直接影响成像质量、分辨率以及分析结果的准确性。这类污染可能来源于样品制备、环境暴露、真空系统残留物或电子束照射过程。以下是污染对扫描电镜性能的主要影响及相关分析。

一、污染的主要来源

制样过程中残留物：如油脂、手指印、清洗剂残渣或有机溶剂未完全挥发。

真空系统污染：真空腔内的油蒸气、真空脂蒸发物或残余气体在样品表面沉积。

电子束诱导污染：电子束照射会分解样品表面的有机物，使碳元素沉积形成“碳污染层”。

环境灰尘与湿气：样品暴露在空气中过久，易吸附尘埃、水汽或碳氢化合物。

二、表面污染对成像的影响

分辨率下降

污染层会掩盖样品的真实微观结构，使电子束与样品的相互作用区域扩大，导致图像模糊、细节丢失。

对比度减弱

污染层通常为低原子序物质（如碳），与基底材料的反差减小，造成图像灰度对比度降低。

信号失真

表面污染改变电子散射特性，使得二次电子和背散射电子的分布异常，导致边缘发亮或信号漂移。

电子充电与漂移

有机污染层电导率极低，易造成电荷积聚，出现图像漂移、闪烁、条纹等现象。

能谱分析误差

表面附着的碳、氧、硅等污染元素，会掩盖真实成分信号，使 EDS（能谱分析）检测结果偏离实际。

三、减少和消除污染的措施

严格清洁样品：使用无水乙醇、丙酮或等离子清洗去除表面残留。

避免手触样品：操作时佩戴洁净手套，防止指纹油污。

降低束流密度与照射时间：减少电子束诱导分解。

使用冷阱或低温台：在观察过程中吸附残余气体，抑制污染沉积。

保持真空系统清洁：定期更换真空油、清洁腔体和样品台。