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扫描电镜充电现象的快速识别方法

日期:2025-12-03

在扫描电镜观察过程中,非导电样品或导电性差的区域容易出现充电现象,导致图像失真。快速识别充电有助于及时调整参数,避免错误判断样貌。

扫描电镜充电现象的快速识别方法

图像亮度突然不均或局部发白

画面出现“局部过亮、发白、过曝”的区域,通常表示电子堆积导致信号饱和。

图像边缘漂移或整体飘动

图像出现缓慢滑动、漂移、扭曲变化,是典型的正负电荷积累造成的偏转效应。

细节突然模糊,分辨率下降

微结构本来清晰,但随着扫描时间延长逐渐模糊,说明电荷在不断累积。

出现不规则亮点或闪烁

画面中出现瞬间亮点、跳动点或闪烁,是电子束被偏转的常见表现。

同一位置不同倍率下形貌不一致

低倍正常、高倍失真或漂移,说明高倍下充电更明显,是快速判断的有效方式。

调低电压后图像明显改善

加速电压从 15 kV 降到 5 kV 或 1–2 kV 后图像变稳,基本可确认是充电问题。


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作者:泽攸科技


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