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样品倾角对扫描电镜（SEM）图像的成像质量、对比度和分辨率都有显著影响，主要体现在以下几个方面：

影响信号收集效率

当样品倾斜时，入射电子束与样品表面的相互作用体积形状发生变化，背散射电子（BSE）和二次电子（SE）的发射方向也随之改变。

倾角增大时，二次电子发射增强，图像表面细节更明显；

但若倾角过大，会导致信号不均或阴影效应。

增强表面形貌对比

适当的倾斜角能增加表面凹凸处的明暗差异，使图像具有更强的立体感，有助于观察微结构的形貌特征。

影响分辨率

倾角增大会导致电子束在样品上的投影面积增大，从而降低有效分辨率，特别是在高放大倍率下表现明显。

导致几何畸变

倾斜后的样品图像会产生比例失真，例如一侧被拉伸或压缩，测量时须进行几何校正。

影响能谱分析结果（EDS）

在能谱分析时，样品倾斜角度会改变探测器的接收角度，影响X射线收集效率和元素定量准确性。

增加充电效应风险（非导电样品）

倾角过大时，电子可能在样品表面堆积不均，从而加剧电荷积聚现象。