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扫描电镜在高倍放大后边缘不清晰，通常由聚焦条件、电子束状态和样品因素共同造成。

首先是焦点与景深问题。高倍率下景深明显变小，样品表面如果存在高度起伏，中心已对焦但边缘偏离焦平面，就会显得模糊。

其次是像散未校正。像散在低倍时不明显，放大后会表现为边缘拉伸、发虚，尤其在图像四周更明显，需要重新校正像散。

第三是样品高度或倾斜。样品台高度设置不当，或样品存在倾角，会导致边缘区域实际工作距离不同，放大后清晰度下降。

另外，扫描稳定性也会影响边缘清晰度。高倍下微小漂移、振动或充电效应，常在图像边缘先表现出来。

总体来说，高倍边缘不清晰多与焦点、像散、样品高度和稳定性有关。通过重新精细聚焦、校正像散、调整样品高度并确保扫描稳定，通常可以明显改善。