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在扫描电镜（SEM）中观察非导电样品时，电荷积聚是常见问题，会导致图像发亮、漂移或失真。为了避免电荷积聚，可以采取以下几种方法：

样品镀导电层：

使用金（Au）、铂（Pt）、碳（C）等材料在样品表面镀上一层几纳米厚的导电膜，使表面电荷能够快速泄放。

降低加速电压：

通过降低电子束能量（如从 15 kV 降到 1–5 kV），减少电子在样品内部的穿透深度，从而减轻电荷积聚。

使用低真空或环境扫描电镜模式（ESEM）：

在低真空模式下，腔体中存在少量气体分子（如水蒸气），这些分子能中和样品表面的电荷。

采用导电胶或导电银漆连接样品：

在样品与样品台之间加导电连接，使电荷能够有效传导至接地系统。

选择合适的观测角度与束流强度：

减小电子束电流密度，或改变入射角，可以减轻局部电荷积累。

使用电子束扫描补偿技术：

一些先进的扫描电镜具有电荷中和或电子束补偿功能，可自动调整电子流量以抵消电荷效应。