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扫描电镜工作距离变化影响成像吗

日期:2026-01-08

绝对会影响。扫描电镜(SEM)的工作距离(WD,即样品表面到电子枪下透镜末端的距离)对成像质量有很大影响,原因主要体现在以下几个方面:

景深变化

工作距离越长,景深越大;工作距离越短,景深越小。高放大观察时,如果工作距离太短,景深不足,样品表面微小高低差就会导致局部失焦。

分辨率变化

工作距离短时,电子束束斑(spot size)可以更小,理论分辨率更高;工作距离长时,束斑略大,分辨率会下降。

信号收集效率

电子探测器(SE、BSE)与样品的相对位置固定。工作距离变化会改变信号入射角和收集几何,影响二次电子或背散射电子的检测效率,表现为亮度或对比度变化。

像差和像面变化

透镜系统设计通常有最佳工作距离(Optimum WD),偏离会引入球差或像面弯曲,导致图像模糊或畸变。

深高低差样品表现

对于表面起伏大的样品,长工作距离有利于整个区域同时在焦平面内,但可能牺牲分辨率;短工作距离适合局部高分辨率成像,但景深有限。


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作者:泽攸科技