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扫描电镜对焦和消像散顺序

日期:2026-01-06

在扫描电镜操作中,对焦和消像散是有固定先后顺序的,顺序不当会反复调节却始终不清晰。

一般原则是:先对焦,再消像散,再精细对焦。

首先进行粗到细的对焦。在目标放大倍率下,通过焦距调节让图像尽量清晰,这一步的目的是把焦点调到正确位置,为像散校正提供基础。

然后进行消像散。像散会导致图像在某一方向拉伸或发虚,在放大倍率较高时明显。通过调节 X、Y 像散旋钮,使图像在各个方向都同样清晰,边缘不再出现方向性模糊。

消像散后,图像焦点通常会发生轻微变化,因此需要再次进行精细对焦,让整体清晰度达到适合状态。

在实际操作中,常在较高倍率下完成“对焦 → 消像散 → 再对焦”这一循环,直到图像稳定、细节清楚为止。掌握这个顺序,是获得高质量 SEM 图像的关键。

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作者:泽攸科技