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扫描电镜（SEM）在高倍观察时特别容易失焦，这是一个非常典型的现象，原因主要有以下几类：

景深小

SEM 高倍放大（如几十万倍）时，景深通常只有几百纳米甚至几十纳米，样品轻微上下偏移就会导致失焦。

样品倾斜或不平整

样品台表面不完全平整，或者样品放置有微倾角，高倍扫描时焦平面不一致，容易局部失焦。

热漂移

电子束照射样品会导致局部升温，引起样品膨胀或台体轻微变形，焦点慢慢跑掉。高倍时表现尤其明显。

机械漂移或振动

SEM 样品台、支撑结构或环境振动会在微米/纳米量级影响焦点，高倍下很容易看出图像模糊。

电子光学系统限制

高放大倍率下，像差和电磁透镜非理想性（透镜色差、像差、电子束偏斜）会放大微小偏差，导致焦点敏感。

真空或电荷效应

非导电样品表面积累电荷，导致电子束偏转，局部像面“漂移”，表现为模糊或失焦。