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背散射电子信号是扫描电镜的重要成像信号之一，它主要有以下几个用途：

1. 元素对比（原子序数对比）

背散射电子的产生概率随原子序数（Z）增大而增加。

高原子序数的区域会发出更多 BSE，显示为图像中亮区，低原子序数的区域显示为暗区。

因此，BSE 图像可以用来区分不同元素或不同材料组成。

2. 相位分析与材料分布

BSE 可以反映样品中不同晶相或成分的分布。

在金属合金、矿物和复合材料中，BSE 图像常用于识别不同相或析出物的位置。

3. 粗略形貌观察

虽然 BSE 分辨率通常略低于二次电子（SE）图像，但它仍然可以显示样品宏观形貌，尤其是厚样品或不规则样品。

4. 结合能谱分析（EDS/EDX）

BSE 图像可以帮助定位目标区域，选择适合做能谱分析的位置。

高原子序数区域通常能量峰更明显，更适合定量分析。

5. 样品倾斜或厚度变化的提示

BSE 强度会随样品倾斜角和厚度变化略有改变，可用来辅助判断样品的三维形态。