中文
English

扫描电镜（SEM）的分辨率指的是能够分辨样品表面上两个最小可分开的特征点的能力，它不是单一因素决定的，而是由 电子光学系统、信号特性和样品条件 综合影响的。主要有以下几个关键因素：

1. 电子束探针尺寸

这是最核心的决定因素。分辨率基本受限于电子束在样品表面的聚焦斑点大小。

电子枪类型：场发射枪（FEG）能产生更小的探针斑点，比钨灯丝或六硼化镧（LaB₆）热发射枪分辨率高。

电子透镜性能：电磁透镜的像差（球差、色差）会限制束斑最小化。

加速电压：过高电压增加穿透深度，过低电压受电子源亮度限制，一般几百伏至几千伏是平衡点。

2. 电子与样品的相互作用体积

入射电子在样品中会发生散射，形成一定范围的相互作用区。该体积越大，信号空间分辨率越差。

相互作用体积与 加速电压、样品原子序数和密度 有关。低电压、小原子序数材料有利于减小体积，提高分辨率。

3. 探测器与信号类型

二次电子探测器：信号来自表面几十纳米，分辨率较高。

背散射电子探测器：信号产生于更深区域，分辨率相对较低。

探测器几何位置：越靠近信号产生区域，收集效率和成像清晰度越高。

4. 样品因素

导电性：绝缘体容易积累电荷，导致图像漂移和模糊。

表面平整度：粗糙表面会产生阴影效应，影响局部分辨率。

污染与损伤：表面污染层或电子束照射损伤会掩盖真实细节。

5. 环境与系统稳定性

机械振动与电磁干扰：会让束斑抖动，导致图像模糊。

真空度：低真空会增加电子散射，影响分辨率。

漂移与噪声：系统噪声、电源稳定性、热漂移都会影响成像清晰度。