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扫描电镜放大倍率的正确使用方式

日期:2025-12-15

在扫描电镜中,放大倍率的正确使用关系到分辨率、视场范围和成像可靠性。合理选择倍率,能避免误判细节并提高成像效率。

从低倍开始逐级放大

先用低倍率寻找目标区域,再逐步提高倍率。

直接高倍容易迷失目标,也更容易受到漂移和充电影响。

倍率与分辨率要匹配

放大倍率提高并不等于分辨率提高。

若图像细节模糊,说明倍率已超过当前束斑尺寸和成像条件的有效范围。

高倍下缩小视场、降低扫描速度

高倍率时视场变小,应适当降低扫描速度、增加积分,以减少噪声和抖动。

结合加速电压和工作距离调整

高倍率成像通常配合较短工作距离和合适的电子束能量。

加速电压过高可能增加样品损伤或充电效应。

注意倍率标定与对比参考

不同模式下倍率可能存在偏差,精确测量应依赖标尺而非倍率数值本身。


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作者:泽攸科技


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