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在扫描电镜中，正确聚焦是获得清晰、可靠图像的基础操作，应按由粗到细的顺序进行。

低倍粗调聚焦

先在低放大倍率下找到样品区域。

调整 Z 轴或焦距旋钮，使整体轮廓基本清晰。

逐步提高放大倍率

在保持图像稳定的前提下，逐级放大。

每提高一次倍率，重新微调焦点。

使用细节区域对焦

选择边缘、颗粒或纹理明显的区域作为参考。

细调焦距，使边缘最锐利、对比度高。

配合消像散调整

若图像在某一方向模糊，需配合像散校正。

焦距与像散通常需交替微调。

确认稳定性

停止操作后观察数秒，确认图像无明显漂移或虚化。