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扫描电镜弱信号样品的成像技巧

日期:2025-12-17

在扫描电镜中,弱信号样品常因二次电子产额低或噪声占比高而成像困难,需要通过参数和操作配合来改善图像质量。

降低加速电压

低电压可增强表面二次电子信号,提高对比度。

同时可减轻充电和束损伤。

优化工作距离

在合适范围内适当缩短工作距离,有利于提高信号收集效率。

减慢扫描速度、增加积分

降低扫描速度或开启帧平均,可提高信噪比。

选择合适的探测器

优先使用二次电子探测器,弱信号时比背散射更敏感。

改善样品导电性

对非导电样品进行轻度喷镀,可明显提升信号稳定性。


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作者:泽攸科技