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在扫描电镜中，重复观察同一区域有助于对比形貌变化、评估束流影响或进行长期实验，但需要合理的方法来保证位置可重复。

使用低倍定位、高倍观察

先在低倍率下记录样品整体特征或参考标志。

每次重复观察时，先回到低倍，再逐步放大到目标区域。

记录样品台坐标

在目标位置记录 X、Y、Z 及倾角参数。

下次观察时直接调用或手动输入相同坐标，可快速回到区域附近。

利用样品表面特征作参考

选择明显的颗粒、孔洞、边缘或刻线作为定位标志。

比单纯依赖坐标更直观可靠。

保持样品安装方式一致

每次装样尽量使用相同方向和位置。

避免重新装夹带来的角度和高度误差。

控制工作条件一致

保持相同的工作距离、加速电压和探测器模式，减少成像差异。