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在扫描电镜（SEM）成像中，电荷效应主要出现在 非导电样品或绝缘材料上，当电子束照射时，入射电子不能及时泄放，就会在样品表面积累电荷，导致图像发白、漂移甚至局部失真。要减少电荷效应，可以从以下几个方面入手：

1. 样品处理方法

导电镀层：在样品表面喷金、喷碳或溅射铂，提高表面导电性，让电荷及时泄放，是常用的办法。

导电胶固定：用导电胶或导电铜带将样品与样品台电气连接，形成泄放通路。

切割或打磨：减小表面粗糙度，有时能帮助电子均匀分布，降低局部电荷堆积。

2. 仪器参数优化

降低加速电压：高电压下入射电子穿透深，容易堆积，低电压成像能减少电荷积累。

减小束流：降低探针电流，减少注入电子数量，从源头减轻电荷效应。

增加扫描速度：加快扫描，避免在某一区域长时间停留。

使用环境扫描电镜（ESEM）：在低真空或气体环境下，电离气体帮助中和样品电荷。

3. 外加中和措施

电子/离子中和器：喷射低能电子或离子流中和表面电荷，常用于 FIB-SEM 或 ESEM 系统。

环境湿度控制：在低真空下适度引入水蒸气分子，让其电离后带电粒子中和电荷。

4. 成像策略

选择二次电子像和背散射像结合：二次电子像更容易受电荷效应干扰，必要时用背散射电子像补充。

逐步优化焦距和工作距离：电荷效应可能导致图像漂移，分步调整可避免强烈失真。