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在扫描电镜（SEM）里，样品容易充电是因为电子束轰击后，样品表面的电子无法及时泄放，累积成电荷，导致图像发亮、漂移、甚至严重失真。解决思路主要是 减少电子积累 或 提供导电通道。

解决办法

导电涂层处理

在非导电或弱导电样品表面，喷镀一层 金、铂、碳 等导电膜。

厚度要均匀，过薄可能不能有效泄放电荷，过厚会掩盖表面细节。

低真空/环境电镜模式（ESEM）

使用低真空或环境模式，引入少量气体分子（如水蒸气），通过电离作用中和积累的电荷。

适合不便镀膜的样品。

降低电子束强度

降低 加速电压（比如从 20 kV 降到 1–5 kV），减少入射电子量。

减小 束流，降低电荷累积速率。

增加导电路径

用导电胶或碳胶带把样品边缘与样品台金属底座连接。

保证样品与样品夹、样品杆良好接触。

优化观测方式

使用 背散射电子（BSE）模式，对充电更不敏感。

缩小观察范围，减少电子束在表面扫描面积。