扫描电镜样品需要多大尺寸才能放进去?
日期:2025-08-29
扫描电镜(SEM)样品尺寸能否放入主要取决于 样品室大小、样品台载物面积 和探头或样品夹具的空间限制。一般来说可以这样考虑:
1. 样品台和样品室限制
样品室直径和高度:大多数台式 SEM 样品室直径约 50–100 mm,高度 30–70 mm;高端科研用 SEM 可能更大。
样品台载物直径:通常为 25–50 mm(部分可扩展至 100 mm)。
注意:样品周边要留有一定空间,以便电子束扫描时不碰到腔壁或探头。
2. 样品厚度
样品厚度不能太高,否则可能碰到 透镜或探测器,导致无法移动或对焦。
对高分辨率 SEM,样品厚度一般建议 ≤ 5–10 mm。
3. 样品重量
样品台通常有载重限制(几十克到几百克不等),过重可能影响 定位精度 和 台面运动。
4. 样品形状
尽量选择 平整底面,方便固定。
高出或不规则样品可能需要 特制夹具 或 削薄处理。
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作者:泽攸科技
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