行业动态每一个设计作品都精妙

当前位置: 主页 > 新闻资讯 > 行业动态

样品在扫描电镜中为什么会出现充电现象?

日期:2025-08-25

在扫描电镜里,样品表面出现 充电现象主要是因为样品 导电性不足,电子束打到样品表面后,电荷不能及时导走,在局部累积造成的。具体原因可以分几类:

样品本身是绝缘体或低导电材料

比如高分子、有机物、陶瓷、玻璃等,这些材料几乎不能传导电子,电子束轰击后容易在表面积聚。

表面电子逸出与注入不平衡

扫描电镜成像依赖二次电子、背散射电子信号。如果样品接受的电子束电流大于逸出的电子电流,电荷就会堆积。

样品接地不良

即便是金属,如果与样品台接触不紧密,也会导致电荷无法流走,从而局部带电。

高束流、高加速电压条件

束流强、加速电压高时,入射电子数大大增加,更容易形成电荷堆积。

充电的后果

图像出现局部过亮或过暗,甚至漂移、闪烁。

图像细节丢失,分辨率下降。

在严重情况下,会导致束斑不稳定,无法成像。

常见的解决方法

给非导电样品 喷镀金、碳,提高导电性。

使用 低加速电压、减小束流,降低电荷积累。

保证样品与样品台 良好导电接触。

采用低真空 SEM 模式,利用气体分子电离中和电荷。


TAG:

作者:泽攸科技