样品在扫描电镜中为什么会出现充电现象?
日期:2025-08-25
在扫描电镜里,样品表面出现 充电现象主要是因为样品 导电性不足,电子束打到样品表面后,电荷不能及时导走,在局部累积造成的。具体原因可以分几类:
样品本身是绝缘体或低导电材料
比如高分子、有机物、陶瓷、玻璃等,这些材料几乎不能传导电子,电子束轰击后容易在表面积聚。
表面电子逸出与注入不平衡
扫描电镜成像依赖二次电子、背散射电子信号。如果样品接受的电子束电流大于逸出的电子电流,电荷就会堆积。
样品接地不良
即便是金属,如果与样品台接触不紧密,也会导致电荷无法流走,从而局部带电。
高束流、高加速电压条件
束流强、加速电压高时,入射电子数大大增加,更容易形成电荷堆积。
充电的后果
图像出现局部过亮或过暗,甚至漂移、闪烁。
图像细节丢失,分辨率下降。
在严重情况下,会导致束斑不稳定,无法成像。
常见的解决方法
给非导电样品 喷镀金、碳,提高导电性。
使用 低加速电压、减小束流,降低电荷积累。
保证样品与样品台 良好导电接触。
采用低真空 SEM 模式,利用气体分子电离中和电荷。
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作者:泽攸科技
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