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扫描电镜成像为什么有亮暗对比?

日期:2025-08-22

亮暗对比是扫描电镜(SEM)图像基本的特征之一。亮暗对比的形成,主要来自样品表面与电子束相互作用后信号的差异。可以从几个方面理解:

1. 材料成分差异

不同元素的原子序数不同,对入射电子的散射和能量损失程度不同。

原子序数高的区域(比如金、铂等重元素)会产生更强的背散射电子信号,图像上显得更亮。

原子序数低的区域(如碳、氧等轻元素)背散射电子少,看起来更暗。

这就是所谓的 成分对比。

2. 表面形貌差异

表面形貌会影响二次电子的发射量。

当表面有 凸起、锐利边缘 时,二次电子容易逃逸出来,信号更强,局部显得更亮。

在 凹陷或陡峭谷底,电子容易被重新吸收或难以逸出,信号减弱,图像就暗。

这就是 形貌对比,通常用二次电子像来体现。

3. 样品电荷效应

非导电样品在电子束轰击下会积累电荷,造成电子逸出不均:

可能出现局部过亮(电子积聚,增强信号)。

或者过暗(电荷排斥入射电子,信号减弱)。

4. 电子束与样品的入射角

电子束倾斜入射或样品表面角度不同,也会影响信号采集。倾斜表面往往有更高的二次电子产额,看起来更亮。


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作者:泽攸科技