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在扫描电镜（SEM）里，图像是通过电子束扫描和信号采集生成的，像素大小与放大倍数和工作条件直接相关。因此，扫描电镜的确可以用来测量尺寸，但准确度取决于以下几点：

1. 标尺校准

扫描电镜图像通常会自带比例尺（scale bar），这是基于仪器的放大倍数和扫描参数计算出来的。

在正式测量前，可以用已知尺寸的标准样品（例如金属网格或球形颗粒）进行校准，确保比例尺准确。

2. 测量方式

可以直接利用软件工具，在图像上用比例尺换算尺寸。

现代扫描电镜控制软件一般提供“测距”功能，点取两个位置即可得到距离。

3. 影响因素

放大倍数和分辨率：放大越高，像素大小越小，测量更准确。

样品倾斜：如果样品表面不是垂直于电子束，测量会出现几何畸变。

像差与充电效应：会导致边缘模糊，影响判定边界的位置。

扫描非线性：电子束扫描在大视场下可能稍有畸变。

4. 适用范围

扫描电镜适合测量 纳米到微米尺度的长度、颗粒直径、厚度、间距 等。

对于三维厚度或埋藏结构，SEM 不能直接测量，只能结合样品制备或其它技术（如 FIB、TEM、AFM）来辅助。