扫描电镜图像如何进行尺寸标定？

扫描电镜（SEM）图像的尺寸标定是为了确保图像上的距离测量与实际物理尺寸相对应。

样品偏斜角度会影响扫描电镜成像效果吗

样品的偏斜角度会显著影响扫描电镜（SEM）的成像效果。

扫描电镜（SEM）拍摄图像出现拖影（smearing、streaking 或 shadowing），通常表现为图像边缘模糊、重复轮廓或拉长的影子。

判断扫描电镜（SEM）下样品是否被污染，通常可以通过以下几个方面进行观察和分析：

非导电样品在扫描电镜（SEM）中成像时会面临一个主要问题：电荷积累（charging）。因为电子束轰击非导体后，电子无法迅速导出，导致样品表面积累负电荷，从而产生图像漂移、亮度不均甚至成像失败。

扫描电镜（SEM）中，Z方向调节即样品台的上下移动，直接影响样品表面与电子枪之间的工作距离（WD, working distance），对焦的准确性和成像质量高度依赖这个参数。

扫描电镜（SEM）工作时对真空度要求较高，若真空度不够（即腔室压力偏高），会对成像质量和设备运行产生一系列不良影响。

样品表面污染会显著影响扫描电镜（SEM）成像质量，具体表现和影响如下：