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样品表面污染会如何影响扫描电镜成像?

日期:2025-05-14

样品表面污染会显著影响扫描电镜(SEM)成像质量,具体表现和影响如下:

1. 图像分辨率下降

污染层可能遮盖住样品的真实微观结构,使电子束无法准确聚焦在目标区域,从而导致图像模糊、细节丢失。

2. 伪影与噪声增加

污染物在电子束轰击下可能产生次级电子、X 射线或带电荷积累,导致图像中出现非真实结构的明暗条纹、亮斑或阴影。

3. 充电效应加重

污染层通常为非导电材料,容易引起电子束照射区域的电荷积累,造成:

图像漂移

像素扭曲

明暗不均

4. 成分分析失真

在进行能谱(EDS)分析时,污染层会引入额外元素信号,干扰对样品真实成分的判断。

5. 电子束诱导污染加剧

污染层可能在高剂量电子束照射下发生聚合或热分解,形成更厚的碳沉积物或其他反应产物,进一步恶化成像质量。

应对措施建议:

使用等离子体或紫外清洗样品,去除表面有机污染。

使用高真空或低剂量条件,避免污染扩散。

保持手套、镊子和样品盒洁净,避免人为污染。

若已成像污染严重,可更换观测区域或重新制备样品。


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作者:泽攸科技