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扫描电镜（SEM）中的“电荷积聚”（Charging）现象是指非导电样品在电子束照射下无法及时释放电荷，导致电子在样品表面积累，从而引起图像漂移、畸变、亮斑或黑斑等问题。

为了解决电荷积聚问题，可以采用以下方法：

1. 样品导电处理

金属喷镀：在样品表面喷镀一层金、铂、碳等导电材料（常用金属蒸发或离子溅射方式），形成导电路径。

碳膜覆盖：使用碳胶、导电碳膜覆盖样品表面，尤其适用于生物样品或易受热损伤样品。

2. 使用低真空模式（Low Vacuum / Variable Pressure）

开启低真空/环境电镜模式，使腔室中保留一定气压（如水蒸气或氮气），电离气体可中和样品表面多余电荷，降低积聚效应。

3. 降低加速电压

减小电子束的穿透深度和积聚量，例如将加速电压从 20 kV 降至 5–10 kV，可减少电荷注入和局部积累。

4. 减少束流强度

调整光阑或探针电流，减小电子束流密度，延缓电荷积聚速度。

5. 缩短扫描时间

使用快速扫描模式，缩短电子束停留时间，从而减小电荷积累。

6. 使用导电胶或导电带固定样品

将样品固定在导电载台上时，用导电胶或铜胶带连接样品与样品台，确保接地通畅。

7. 样品倾斜或局部避开照射中心

轻微倾斜样品可改变电荷积聚方向；避开过度集中照射区域也能减少局部充电。