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在扫描电子显微镜（SEM）中，扫描速度指的是电子束在样品表面每个像素上停留的时间，通常通过设置“帧时间”或“像素驻留时间”来调节。这个参数对图像的质量影响很大。

如何设定扫描速度

扫描模式选择：常见模式有：

快速扫描（Fast Scan）：用于快速预览样品。

慢速扫描（Slow Scan）：用于高质量图像采集。

调节帧率或驻留时间：

在 SEM 控制界面中，通常可以设定“帧时间”（如 1 秒、10 秒）或“像素驻留时间”（如 10 μs、100 μs）。

有些系统允许设定扫描分辨率（如 512×512、1024×1024），间接影响扫描速度。

平均扫描（Frame Averaging）：

可通过设置多帧平均（如平均 4 帧、8 帧）提升图像信噪比，但总扫描时间会变长。

当扫描速度较快时，电子束在每个像素上的停留时间很短，信号采集不充分，图像容易出现噪点，颗粒感重，清晰度不高。这种设置适合用于快速浏览样品结构或在调整焦距、亮度、对比度时使用。

而当扫描速度较慢时，电子束有更长时间作用于每个像素，从而产生更多的信号，图像更清晰、对比度更高，细节也更容易分辨。但缺点是如果样品不稳定，比如容易充电、热敏感或存在机械漂移，那么图像可能会出现模糊、拖影或者局部变形。

为了在保证图像质量的同时降低样品损伤和漂移风险，有时会采用“平均扫描”的方法，即快速扫描多帧后平均叠加成一幅图像，这样可以兼顾速度和质量。

因此，扫描速度设置应根据样品类型、图像清晰度需求以及系统稳定性灵活调整。如果你在拍摄过程中发现图像噪声大、细节模糊，建议适当减慢扫描速度或启用多帧平均功能。反之，若图像出现拖影或样品损伤，可适当提高扫描速度或降低电子束电流。