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扫描电镜（SEM）中，Z方向调节即样品台的上下移动，直接影响样品表面与电子枪之间的工作距离（WD, working distance），对焦的准确性和成像质量高度依赖这个参数。以下是一些常用的Z轴调焦技巧和注意事项：

一、了解工作距离（WD）与焦距的关系

工作距离是指样品表面到物镜极靴之间的距离。

在较短的工作距离下，电子束聚焦较好，成像分辨率高，但景深较浅。

在较长的工作距离下，景深增加，适合观察有高度起伏的样品，但分辨率略有下降。

二、Z方向调节技巧

初步定位：

将样品台Z轴调节到预设的大概位置，一般为仪器起始WD（如10 mm）。

可根据经验和样品高度调整Z轴，避免样品过高碰撞物镜。

使用低倍率找焦：

在低放大倍率（如50–100x）下调整Z轴，快速确定焦点范围。

利用“粗调”观察图像清晰程度变化，Z轴逐步调整至图像清晰位置。

使用自动对焦辅助：

一些设备带有自动调焦功能，可在近似焦点区域内辅助精确聚焦，但通常需先人工大致调到焦点附近。

自动聚焦多依赖电子图像对比度，前期Z调节需先让图像接近焦点范围。

Z轴微调+Stigmator补偿：

在高倍倍率（如5000x以上）进行微调。

配合Stigmator（电子束整形）优化图像的对称性和锐度。

如图像在某一方向模糊（拉伸或压扁），说明电子束发生了非对称形变，此时Z调节加Stigmator校正效果更好。

利用“聚焦漂移法”判断Z调节方向：

在高倍下快速改变焦距（WD）观察图像上下“漂移”方向，判断是否应抬高或降低Z。

图像向上漂移，说明样品离物镜太近，需调高Z（增加WD）；反之亦然。

三、其他建议

Z调节建议以微调方式进行，特别在高放大倍率下。

调Z时避免快速大幅移动，防止样品与物镜碰撞。

如果样品表面高度不均，需根据高点调焦，以免撞针或撞柱。

四、常见错误与避免方法

图像始终模糊不清：可能Z轴偏离焦点过远，应回到低倍重新定位。

图像有明暗条纹或波动：可能是样品充电，不仅是焦点问题，应考虑喷金或低压。

一边清晰一边模糊：样品倾斜或表面高度差大，需调整样品倾角或选择合适景深。