中文
English

扫描电镜（SEM）图像中颗粒显示模糊，通常是以下几个原因造成的。根据经验和常见问题，可以从以下几个方面来排查和解决：

1. 未正确对焦

这是最常见的原因。若电子束未聚焦到样品表面，图像自然模糊。

解决方法：使用 SEM 的聚焦功能手动调节，使颗粒边缘清晰锐利。

2. 样品未置于最佳工作距离（WD）

工作距离不适当，会导致像差或对焦困难，尤其在高倍率下更明显。

解决方法：参考设备建议，将工作距离调整到适合当前倍率的范围，如 5–10 mm。

3. 样品带电

非导电样品在电子束照射下积累电荷，会导致成像发虚、发亮、边缘模糊等。

解决方法：

对样品进行金属喷镀；

或使用低真空/环境扫描电镜模式；

降低束流或加上偏压。

4. 束流过强或电子束漂移

束流太大可能使样品受热或损伤，也可能造成图像抖动；

电子束漂移可能源于高压不稳定或磁场干扰。

解决方法：降低束流电流，稳定高压供电，检查是否有外部电磁干扰源。

5. 样品表面不平整或倾斜

表面凹凸不平或角度倾斜，某些区域无法与电子束焦点重合，也会导致局部模糊。

解决方法：使用样品台调平功能，确保观测区域与电子束垂直。

6. 扫描速度过快（帧率太高）

扫描时间太短可能来不及积累足够信号，导致图像噪声大、颗粒边缘模糊。

解决方法：减慢扫描速度或使用帧累积功能提高图像质量。

7. 图像分辨率或放大倍数设置不当

如果放大倍率过高但图像分辨率不足，颗粒边缘可能模糊或失真。

解决方法：选择与图像清晰度匹配的放大倍率与分辨率。

8. 镜筒或样品污染

镜头污染或样品表面附有污染层，也可能导致图像模糊。

解决方法：清洁样品或进行样品前处理，检查镜筒是否需要维护。