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扫描电镜图像变亮或过曝怎么办?

日期:2025-08-04

当扫描电镜(SEM)图像变亮或出现过曝现象时,说明图像中部分区域亮度过高,导致细节丢失、图像偏白或泛光。造成这种现象的原因多种多样,以下是常见原因及对应的处理方法:

常见原因及处理方法

1. 电子束电流过高

原因:电子束电流设置太大,信号强度过强,图像亮度异常。

处理:适当调低 电子束电流(Beam Current) 或 **亮度(Brightness)设置。

2. 探测器增益设置过高

原因:二次电子探测器或背散射探测器的增益(Gain)过高。

处理:降低探测器增益或对比度设置,避免图像信号被放大过多。

3. 工作距离不当

原因:工作距离(WD)过近导致信号强度集中,成像局部过亮。

处理:适当增加工作距离,使电子束在样品上的扫描范围更合理。

4. 样品带电

原因:非导电样品未喷金或接地不好,电荷积聚导致电子束散射不均匀,局部放电发亮。

处理:

预先喷镀一层导电材料(如金、碳);

使用低真空模式或环境 SEM;

在样品背面用导电胶接地。

5. 曝光时间过长(Slow scan)

原因:长时间扫描可能造成部分像素过曝。

处理:选择适中或快速扫描模式,避免局部区域曝光过度。

6. 样品局部高反射/高原子序

原因:金属颗粒或高原子序元素区域反射信号强,造成图像局部过亮。

处理:

适当降低放大倍率查看整体结构;

或使用背散射电子图像代替观察。


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作者:泽攸科技