中文
English

扫描电镜（SEM）拍图时通常需要调整样品的高度，这是成像质量和操作效率的重要因素。下面是详细解释：

一、为什么要调整样品高度？

样品高度会影响以下几个关键参数：

1. 工作距离（Working Distance, WD）

工作距离指的是电子枪下发射出的电子束到样品表面的垂直距离。

不同放大倍率和探测器（如二次电子、背散射电子、EDX）对工作距离有不同要求。

通过调整样品高度，可以间接调整工作距离，以适应不同成像需求。

2. 焦点位置（Focus）

SEM 是通过聚焦电子束在样品表面形成图像；

若样品高度太高或太低，焦点会偏离，导致图像模糊；

调整样品高度可使感兴趣区域进入焦平面，便于精确对焦。

3. 探测器位置与接收角度

背散射电子探测器、X 射线探测器等通常固定在腔室上部或侧部；

调整样品高度可以使信号更好地被接收，提高图像或能谱质量。

二、什么情况下需要调整样品高度？

更换样品后：不同样品厚度或固定方式不同，起始高度不一致；

观察样品某一特定区域（如表面凹陷或凸起）：需要上下调节找准合适对焦位置；

改变放大倍率或探测器时：高倍率通常需要较短的工作距离，因此要升高样品；

需要拍摄连续不同区域：可通过 Z 向调整保持视野清晰；

多样品排列：有时平台上放多个样品，它们高度不同，需逐一调节观察。

三、如何安全调整样品高度？

低倍率下观察样品高度变化，避免撞击物镜或探测器；

使用“Z轴”移动功能，由远及近缓慢接近焦距；

注意腔内结构（如二次电子探头、EDX 探头）的位置，避免样品撞上；

部分 SEM 具有限高保护，仍建议手动谨慎操作；

调整后需重新对焦并调节工作距离，以获得清晰图像。