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在扫描电镜中，样品高度（Z 方向位置）会直接影响成像清晰度、分辨率以及测量准确性，是容易被忽视但非常关键的参数。

影响焦点与清晰度

样品高度变化会改变工作距离，偏离高度时图像容易失焦、边缘变虚。

高度不一致的样品在同一视场内会出现局部清晰、局部模糊。

影响分辨率与信号强度

接近适合的工作距离时，电子束斑最小，分辨率最高。

样品过高或过低都会导致束斑增大，细节对比下降。

改变放大倍率与尺寸测量

样品高度变化会引入倍率误差，影响尺寸测量的准确性。

精密测量前应将样品调到厂家标定的参考高度。

影响探测器接收效率

高度变化会改变样品与探测器的几何关系，导致亮度和对比度变化。

二次电子像对高度变化尤为敏感。