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扫描电镜高倍放大下如何避免抖动

日期:2025-12-11

在扫描电镜的高倍放大下,任何微小震动都会放大成明显抖动。

1. 稳固样品固定

高倍下最常见问题来自样品未贴紧。确保样品与样品台完全贴合,导电胶、夹具或金属片压片要固定牢,不得有翘角或松动。

2. 降低环境振动

关闭附近会产生震动的设备,如真空泵、循环水机、台式仪器等;确保显微镜放置在稳定的台面上,避免走动、碰触或开关柜门造成微震。

3. 选择较短的像素驻留时间

高倍时驻留时间太长会放大抖动,可适当缩短 dwell time 或提高扫描速度,以减少运动累积误差。

4. 调整工作距离(WD)与电子束条件

稍微增大 WD 或降低束流密度,可让成像更稳定,同时减少样品的束流受热翘动。

5. 校准扫描与对焦

高倍前先在低倍完成完全集中、天平与对焦补偿,避免进入高倍后不断调节导致进一步扰动。

6. 控制样品台动作

避免在高倍下使用连续移动或倾斜,所有位置调整都应在低倍完成;确认样品台的驱动模块没有松动或背隙问题。

7. 提高抽真空稳定度

腔体未完全稳定时,泵振与气体流动会引入轻微抖动,应在真空达到稳定值后再进入高倍模式。


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作者:泽攸科技