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扫描电镜中改变样品倾角会直接影响信号采集、分辨率、几何畸变与表面信息呈现，是影响成像效果的关键因素之一。

1. 表面细节的变化

倾斜后表面微结构的边缘、凸起处更容易被电子束“侧照”，阴影更明显。

局部凹坑在大倾角下更清晰，因为侧向信息更突出。

2. 亮度与对比度变化

倾斜会改变入射角，导致二次电子发射量变化，从而出现亮度增强或减弱。

高倾角一般提升边缘对比，但会降低整体均匀性。

3. 分辨率受影响

倾角越大，入射点的电子束斑实际在样品表面的“投影”变大，导致有效分辨率下降。

对于高倍率成像，大倾角容易造成画面发糊。

4. 几何畸变

倾角会让图像发生压缩、拉伸等几何变形，尤其是在样品边缘位置。

若需定量测量，倾角会使距离、角度、尺寸偏离真实值。

5. 信号采集方向性变化

二次电子探测器对方向敏感，倾角变化会改变信号收集效率。

背散射电子图像在倾斜后会增强“成分对比”，但同时增加表面阴影。

6. 充电与束损伤风险变化

倾角增大时，局部入射剂量可能变高，易引起局部充电。

异常角度下电子束更容易在表面堆积，引发布局域损伤。