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扫描电镜图像出现边缘失真，主要是因为电子束在扫描范围边缘区域时受到磁场畸变、透镜像差或样品倾斜等因素的影响，使得边缘放大率或分辨率降低。为了减少或避免这种边缘失真，可以从以下几个方面着手：

首先，要优化聚焦和像场校正。在调焦时不要只在图像中心进行，而应在边缘区域也检查清晰度。通过调整消像散（stigmator）可以校正束斑的椭圆畸变，使边缘与中心区域的分辨率一致。若仪器带有像场校正功能，应在高放大下反复调整，使全视场成像均匀。

其次，控制样品的安装角度与位置。样品应尽量保持平整、水平，且中心位于电子束光轴上。如果样品倾斜过大或高度不一致，会导致扫描面与束轴不垂直，使图像边缘产生拉伸、压缩等几何畸变。对于大样品，应尽量选择中间区域成像。

第三，减少扫描范围与畸变累积。在成像时避免使用过大的放大范围或扫描幅度，尤其是在较低工作距离下。适当增大工作距离，可以让电子束在扫描边缘时的入射角变化更小，从而改善边缘成像一致性。

第四，检查透镜参数与系统稳定性。若物镜电流不稳定、真空波动或电子枪发射不均，都会使电子束轨迹发生轻微漂移。应在设备充分预热、真空稳定后成像，并定期进行电子光学系统校准。

不同型号与品牌的扫描电镜在像场校正方式、光学系统设计及扫描控制算法上存在差异，因此在调节过程中应参照设备说明书或厂商提供的操作指南，结合具体机型特点进行优化，以获得全视场高质量图像。