中文
English

在扫描电镜（SEM）观察中，判断样品是否发生充电现象非常重要，因为电荷积聚会直接影响图像质量。以下是一些常见的判断方法和分析依据：

一、从图像特征判断

图像局部过亮或过暗。

充电样品表面带电后会改变电子束的入射角度或散射方式，导致图像出现异常的高亮区或黑暗区。

例如，某一区域突然变得非常亮，而邻近区域正常，这往往说明电荷在该处积聚。

图像漂移或跳动。

电子束在扫描时被电场偏转，会导致图像缓慢移动、变形或无法稳定在同一位置。

如果焦距和放大倍数不变，但图像在屏幕上“滑动”，很可能是样品表面带电。

图像出现条纹或波纹状干扰。

充电会在样品表面形成不均匀的静电场，电子信号在不同扫描线上被不同程度偏转，从而出现周期性条纹或噪声。

无法正常聚焦或焦点漂移。

样品带电时，电子束受静电干扰，聚焦点位置不断变化。调焦时，图像似乎“快要清晰”却始终无法稳定。

二、从操作现象判断

切换放大倍数后，图像突然闪烁或飘移。

在高倍率下，电子束更集中，电荷积聚更快，因此充电效应更加明显。

若放大倍数越高图像越不稳定，基本可以判断样品带电。

使用背散射或二次电子探测时信号不稳定。

充电样品表面电势变化快，会让检测信号剧烈波动。若图像亮度频繁变化，就是明显的充电迹象。

非导电样品未喷镀金属层直接观察时。

如树脂、生物样品、玻璃、塑料等材料，本身导电性差，若未采取导电处理措施，几乎一定会产生充电。

三、辅助判断方法

降低加速电压后观察变化。

若在高电压（10–20 kV）下图像不稳，而在低电压（1–3 kV）下明显改善，说明样品表面充电严重。

使用低真空或环境模式。

低真空SEM允许少量气体存在，可中和电荷。如果切换到低真空模式后图像稳定，则可确认是充电引起的问题。

观察时间变化。

样品长时间曝光后图像逐渐变形或亮度变化，也说明电荷正在逐步积累。