中文
English

在扫描电镜中，电子束能量直接影响成像分辨率、样品穿透深度和损伤风险。选择合适的电子束能量可以兼顾成像质量与样品保护。

扫描电镜选择合适电子束能量的方法

考虑样品厚度与组成

对于厚样或高原子序数材料，需要较高能量（如15–30 kV）以保证穿透力。

对薄样或低原子序数材料，低能量（如1–5 kV）即可，减少损伤。

平衡分辨率与损伤

高加速电压可获得高分辨率和较深景深，但容易热损伤或电荷积累。

低电压降低损伤和边缘效应，但分辨率可能下降。

考虑表面与深层信息需求

只观察表面形貌时，低电压有利于提高表面敏感性。

若需要观察内部结构或背散射信号，高电压更适合。

样品导电性

对绝缘样品，过高能量易产生电荷堆积，可先使用低电压或低束流。

可结合喷金/喷碳处理，或使用低真空模式辅助成像。

经验调节

可先从中等电压开始，观察图像信噪比和表面状态，再微调至适合值。