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扫描电镜拍不清楚，通常与样品状态、成像参数或仪器状况有关。

一、检查样品状态

样品不导电。

表面容易积聚电荷，导致图像模糊。

解决方法：可在样品表面镀一层金、铂或碳，或使用低真空模式观察非导体样品。

样品表面太粗糙或有灰尘。

表面不平整会造成局部失焦。

解决方法：清洁样品，调整样品角度，使表面尽量平整。

样品装夹松动或震动。

样品微小移动会让图像抖动、模糊。

解决方法：使用导电胶或铜胶带固定样品，确保样品台稳定，避免外部震动。

二、优化成像参数

焦距不准。

这是最常见原因之一。尤其在高倍率下，应仔细微调焦距和像散校正。

加速电压不合适。

电压过高会使电子穿透样品太深，降低表面分辨率；电压过低则信号弱、噪声大。

建议导电样品使用 5–15 kV，非导电样品使用 1–5 kV。

工作距离不合适。

工作距离太大，分辨率下降；太小，信号可能不稳定。

一般使用 8–12 mm，或按照厂家推荐值。

束流电流不当。

电流太大，图像亮但模糊；太小，图像暗但清晰。

建议适当减小束流电流，必要时增大积分时间。

扫描速度太快。

扫描过快会使噪声增加，图像模糊。

可使用慢扫描或多帧平均模式。

三、检查仪器状态

电子枪污染或偏轴。

电子束不稳定会导致成像模糊。

应联系维护人员进行校准或清洁。

真空度不良。

真空不足时，电子束会被气体散射，降低分辨率。

检查真空系统是否泄漏或密封圈老化。

探测器接触不良。

信号不稳定会导致图像对比度低。

检查探测器与主机连接是否牢固。