扫描电镜怎么看出表面粗糙度
日期:2025-10-20
在扫描电镜中,表面粗糙度通常通过观察图像的亮度变化、阴影效果和局部纹理来判断。表面越粗糙,局部倾斜角越多,次级电子信号的发射方向就越分散,因此图像中的亮暗反差会更明显,看起来颗粒感强、灰度不均匀;而表面光滑的样品,亮度分布会比较均匀,看上去细腻。
如果把样品轻微倾斜,比如五到十度,再观察图像,可以通过阴影判断起伏程度。表面粗糙的样品会出现明显的阴影和亮区,而平滑表面几乎没有阴影,轮廓柔和。
从信号类型来看,次级电子像能反映表面形貌。若表面起伏较大,背散射电子像中也可能出现亮暗不均,因为电子的散射角受表面倾斜影响。
要进一步定量分析,可以拍摄不同倾斜角度的两张图像,用三维重建软件(如 MountainsSEM 或 Gwyddion)重建出相对高度分布。若需要得到数值粗糙度参数,还可以结合原子力显微镜或白光干涉仪测量。
判断时要注意操作条件:加速电压太高会让信号穿透表面,使形貌对比变弱;工作距离太长会让分辨率下降;次级电子探测器对表面起伏敏感;若样品导电性不好,会出现充电效应,看起来像“假粗糙”。
总之,粗糙表面在扫描电镜下的典型特征是亮暗反差明显、颗粒感强、有阴影;光滑表面则亮度均匀、细节平滑。
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作者:泽攸科技
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