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在扫描电子显微镜（SEM）中，伪影是指图像中出现的非样品真实结构的信号或形态，它们会误导观察者，通常来源于样品制备、设备本身或成像条件。可以理解为“假象细节”。

1. 伪影的来源

(1) 样品制备相关

表面污染：灰尘、油脂或残留溶剂可能被电子束激发，产生亮斑或阴影。

镀膜不均：金/碳镀膜厚度不均，导致局部亮度异常或纹理伪影。

机械损伤：切片、抛光、压痕可能在图像上显示为非原生结构。

干燥/脱水问题（生物样品）：样品收缩、皱折形成假形貌。

(2) 电子束与设备因素

充电效应：非导电样品累积电荷，使局部信号增强或漂移，产生亮斑或条纹。

束扫描扫描伪影：扫描速度过快或扫描线错误可能造成条纹、波纹。

探测器非均匀性：二次电子探测器响应差异产生亮暗条纹。

振动或漂移：台面移动、样品热膨胀或环境振动会导致模糊或重复图案。

(3) 图像处理引入

滤波、增强或插值：不当处理可能引入假纹理或伪结构。

2. 常见SEM伪影类型

条纹或线状伪影：扫描线误差或探测器响应不均造成。

亮斑/暗斑：表面污染或充电效应。

重复图案：振动或扫描叠加产生。

边缘增强假象：软件锐化或滤波过度。

收缩/皱折伪影：干燥或脱水生物样品特有。

3. 避免或减少伪影的方法

样品制备：保持清洁、均匀镀膜、减小机械损伤。

导电处理：镀金/碳或使用低加速电压、低真空模式减少充电。

调整扫描参数：合理扫描速度、像素密度和焦距。

稳定环境：减少振动、温度波动和空气流动。

图像处理谨慎：避免过度滤波或插值。