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扫描电镜样品导电性不足导致图像模糊的解决方法

日期:2025-09-10

在扫描电镜(SEM)观察中,如果样品导电性不足,会造成电荷积累(charging effect),从而导致图像模糊、漂移或亮度不均。常见的解决方法有:

导电镀膜

使用 金(Au)、铂(Pt)、碳(C)等导电材料进行喷镀或蒸镀。

薄膜厚度一般控制在 5–20 nm,既能保证导电性,又尽量不掩盖细节。

碳镀膜更适合做 元素分析(EDS/EDX),因为它不会引入金属元素信号。

降低加速电压

适当降低 加速电压(1–5 kV),减少电子在样品内部的穿透深度,降低电荷积累。

同时可以增强表面敏感性,但要平衡分辨率的需求。

使用低真空或环境 SEM(LV-SEM, ESEM)

在低真空模式下,腔室内有少量气体分子(如水蒸气),它们会中和样品表面电荷。

特别适合生物、陶瓷、高分子等非导电材料。

喷涂导电剂

在样品表面涂覆 导电银漆、碳胶等,帮助电荷释放到样品台。

常用于样品边缘或背面连接到样品台,保证接地良好。

优化样品安装

确保样品与样品台接触良好,避免悬空或接触不牢。

必要时在样品边缘点涂导电胶,增加导电通路。

图像采集策略

使用慢扫描+帧累积,提高信噪比。

减小电子束电流,降低电荷积累速度。


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作者:泽攸科技