中文
English

对于导电性能偏弱的样品，在扫描电镜观测过程中，持续入射的电子容易在样品表面积累，逐步形成表面荷电，这也是非金属样品成像里十分常见的现象。入射电子持续注入，而样品没有足够通路将电荷及时导出，局部电位就会发生偏移，进而改变后续入射电子的运动轨迹，同时也会影响二次电子向外逃逸以及被探测器收集的效率。荷电较轻时，图像会出现局部衬度漂移、明暗无规律闪动；荷电持续累积之后，会出现图像局部过亮、图形扭曲，严重时还会引发电子束发生偏转，造成成像区域偏移。

荷电的发展不是固定不变的，会随着扫描时长、束流大小、加速电压以及扫描区域尺寸动态演化，刚开始扫描时电荷持续积聚，达到一定程度之后，入射电荷与逸出电荷慢慢趋于动态平衡，图像状态随之进入相对稳定的阶段。不同样品的电阻率、厚度以及表面状态，决定了电荷积聚的快慢与平衡电位；即便同一块样品，表面凹凸、裂隙、孔洞位置更容易出现电荷聚集，形成局部异常衬度。合理选择成像参数，或是在样品表面制备极薄导电层，都可以改变电荷释放通道，缓和表面荷电的持续演化，获得稳定、失真更少的观测图像。