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样品表面不平整是导致扫描电镜（SEM）图像模糊、局部失焦、对比度不均的重要原因之一。因为电子束聚焦在不同高度的区域时，会出现景深不足或充电累积不均，从而影响成像质量。以下是常见的解决方法：

1. 改善样品制备

切割/抛光：对于金属、陶瓷等，可以进行机械抛光、离子束抛光，使表面尽量平整。

离子减薄（Ion Milling）：适用于半导体、陶瓷等硬脆材料，可去除表面粗糙层。

微切片（Ultramicrotomy）：适用于高分子、生物样品，切割出薄而平整的表面。

2. 选择合适的镀膜方式

对粗糙样品进行 旋转镀膜（样品在镀膜过程中旋转），保证表面各角度均匀覆盖。

使用 碳镀膜 或 离子溅射镀金/铂，减少高低落差区域的电荷积累。

3. 优化成像条件

加大景深：

使用较低的 放大倍率 或 减小光阑孔径（较小的束斑直径，景深更大）。

降低加速电压：

降低到 1–5 kV，可以减少信号来自不同深度的叠加，减轻模糊。

倾斜样品：

调整样品台角度，使关键观察区域尽量处于同一焦平面。

4. 图像采集策略

逐点聚焦：对不平整样品，可在关键区域单独聚焦并成像，而不是试图全局清晰。

拼接/深度复合成像：拍摄多张不同焦平面的图像，然后通过软件进行 焦点合成，得到整体清晰的图像。

5. 低真空或环境 SEM

在低真空模式下，腔体气体能减少表面电荷积累，帮助在粗糙表面上获得更稳定的图像。