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扫描电镜当中的背散射电子是入射电子与样品原子核发生弹性散射之后折返出来的信号，其产出效率和样品局部平均原子序数紧密相关，是区分多相组分的重要信号来源。在较低加速电压条件下，入射电子的穿透深度有限，背散射信号主要取自样品近表层；随着加速电压逐步提升，电子能够向样品更深区域渗透，采集到的信息会包含样品亚表层的组分，表层薄层带来的衬度贡献随之下降。

如果样品内部存在埋藏颗粒、分层界面，提升加速电压可以让背散射信号捕捉到埋藏结构，但代价是空间分辨率出现衰减，信号对应的空间边界变得模糊。不同型号扫描电镜的背散射探测器布局、接收角度各不相同，对倾斜样品、粗糙表面的信号采集效率存在区别，使得组分衬度、形貌衬度相互交织，需要结合观测目标选择适配的加速电压，以此平衡分辨能力与组分识别效果。