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表面粗糙度对扫描电镜（SEM）分辨率的影响主要体现在电子信号的产生、收集以及束斑聚焦等方面：

1. 电子信号散射与收集效率

光滑表面：入射电子束作用后，二次电子和背散射电子的出射方向较可控，探测器能收集信号，成像对比度和分辨率较高。

粗糙表面：电子会在表面不同角度散射，信号分布不均，部分二次电子可能被表面遮挡或散失，导致图像边缘模糊、分辨率下降。

2. 几何阴影效应

当表面存在凹坑或陡峭突起时，低角度区域可能无法被电子束充分照射，或产生探测死角。

阴影区信号不足，会在图像上表现为暗区，降低细节分辨率。

3. 焦深与束斑稳定性

SEM 的成像依赖电子束在表面形成小束斑。

对于平整样品，可以在一个焦平面上获得清晰图像。

但粗糙样品表面起伏大，不同区域处于不同高度，超出电子束的焦深范围，导致某些区域清晰而其他区域模糊。

4. 电荷效应增强（对非导电样品）

粗糙表面容易出现局部电荷集中，因几何形状导致电子积累不均匀。

电荷不均会进一步干扰束斑稳定和信号收集，加剧分辨率下降。

5. 加速电压与粗糙度的耦合效应

在高加速电压下，电子入射深度更大，粗糙度的相对影响稍弱。

在低加速电压下，电子主要与表面相互作用，此时粗糙度对分辨率的影响明显。