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扫描电镜中的样品边缘效应，是指在样品边缘或尖角附近出现亮度增强、对比异常或信号畸变的现象。其形成主要源于局部电场、束流分布和表面几何结构的共同影响。

扫描电镜样品边缘效应的形成原因

电子束在尖角处更易散射与逃逸

边缘区域曲率小，表面倾角大，二次电子更容易从边缘逸出，因此在图像上表现为明显增亮。

电场集中导致二次电子产额升高

边缘位置会形成局部电场增强，使得电子束更容易激发高能二次电子，造成过亮或泛白。

束流撞击角度改变

在边缘，电子束入射角增大，更有利于产生二次电子和背散射电子，从而提高信号强度。

样品几何导致的信号收集偏差

边缘区域的信号更容易直接被探测器接收，导致探测效率局部升高。

绝缘样品边缘更容易积累电荷

边缘处受电荷集中影响更强，可能产生局部过亮、条纹或噪点，但本质上也是边缘效应的表现之一。