中文
English

在扫描电镜观察中，电子束可能会对样品造成热效应或电荷累积，从而引发结构改变。及时判断样品是否被电束损伤，有助于调整参数并保护样品。

扫描电镜判断样品是否被电束损伤的方法

图像出现形变或塌陷

观察到纤维塌缩、结构熔化、边缘软化等形态变化，通常是热损伤或束斑长期停留造成的。

表面出现亮暗变化

局部区域突然变亮或变暗，说明表面材料特性或形貌已被改变。

样品逐渐变焦难以维持

原本清晰的焦点逐渐无法再对准，可能是表面结构被破坏导致的焦平面改变。

扫描过程中出现局部凹坑或裂纹

高束流会出现明显烧蚀痕迹，尤其在聚焦点强烈暴露时更常见。

重复扫描后图像细节减少

细小结构被电子束破坏后，重复扫描会发现纹理变模糊、孔洞消失或颗粒融合。

带电样品的异常电荷释放现象

若损伤导致导电性变化，可出现突然闪亮、局部放电点等现象。