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扫描电镜能看到多小的结构?

日期:2025-08-11

扫描电镜(SEM)能看到的最小结构,取决于显微镜的类型、电子枪性能、探测器类型以及样品制备情况。

1. 常规钨灯丝 SEM

分辨率大约在 3–5 nm 左右

适合观察微米到几十纳米的结构

2. 场发射 SEM

分辨率可达到 1–2 nm(有些型号能到 0.5 nm)

适合观察几十纳米以下的精细结构,比如纳米颗粒、纳米线、薄膜表面细节

3. 实际限制因素

即便显微镜本身分辨率很高,以下因素也可能让你“看不到那么小”:

样品带电(非导电样品没有镀膜处理时)

表面污染(油污、真空油蒸发、样品老化)

振动与漂移(纳米级放大时,机械和热漂移影响很大)

电子束损伤(有机物或敏感材料会被烧蚀)

4. 对比

如果只是看微米级纹理,普通 SEM 足够了。

如果要看纳米级晶粒边界或细微台阶,建议用场发射 SEM 并做好高质量制样。


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作者:泽攸科技