扫描电镜能看到多小的结构?
日期:2025-08-11
扫描电镜(SEM)能看到的最小结构,取决于显微镜的类型、电子枪性能、探测器类型以及样品制备情况。
1. 常规钨灯丝 SEM
分辨率大约在 3–5 nm 左右
适合观察微米到几十纳米的结构
2. 场发射 SEM
分辨率可达到 1–2 nm(有些型号能到 0.5 nm)
适合观察几十纳米以下的精细结构,比如纳米颗粒、纳米线、薄膜表面细节
3. 实际限制因素
即便显微镜本身分辨率很高,以下因素也可能让你“看不到那么小”:
样品带电(非导电样品没有镀膜处理时)
表面污染(油污、真空油蒸发、样品老化)
振动与漂移(纳米级放大时,机械和热漂移影响很大)
电子束损伤(有机物或敏感材料会被烧蚀)
4. 对比
如果只是看微米级纹理,普通 SEM 足够了。
如果要看纳米级晶粒边界或细微台阶,建议用场发射 SEM 并做好高质量制样。
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作者:泽攸科技
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