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扫描电镜（SEM）的样品台常见的运动方式主要包括以下几类，每种运动方式都对应不同的调节需求：

1. 平移运动

X 方向：左右移动样品。

Y 方向：前后移动样品。

这两个方向的移动主要用于选择观察区域或扫描范围。

2. 垂直运动

Z 方向：上下调节样品高度。

调节 Z 轴主要是为了控制工作距离（WD），影响焦距和放大倍数。

3. 倾斜运动（Tilt）

将样品台绕 X 或 Y 轴倾斜一定角度（例如 ±90° 或 ±45°，视机型而定）。

倾斜常用于测量表面台阶高度、观察侧面结构，或者配合 EDS（能谱）分析优化信号采集。

4. 旋转运动（Rotation）

绕垂直于样品台平面的轴旋转（360° 或有限角度）。

旋转便于从不同方位观察样品，尤其在立体形貌分析和多角度成像时很有用。

5. 复合运动

部分SEM 样品台支持多轴联动，可以在移动、旋转、倾斜中保持某个点在视场中心。

这对于纳米级定位和高精度重复观察非常重要。

6. 特殊运动

偏心旋转（一些带探针或特殊夹具的台面）

连续扫描移动（用于大面积拼图成像）